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炉体真空系统介绍:
炉体真空系统由2H70滑阀泵2台,ZJP1200、ZJ300罗茨泵各2台,K-1000油扩散泵2台及真空阀门、真空管道组成,真空测量仪表选用ZDF—III—LED复合真空计,炉体极限真空:1.0×10-3Pa,在油扩散泵油温达到工作温度大阀开启后10分钟真空度达到5.0×10-3Pa。
炉体工作真空度:5.0×10-2Pa~5.0×10-3 Pa。
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